大家好,如果您还对扩散硅压力传感器不太了解,没有关系,今天就由本站为大家分享扩散硅压力传感器的知识,包括世界上首个硅压力传感器的问题都会给大家分析到,还望可以解决大家的问题,下面我们就开始吧!
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世界上首个硅压力传感器
它应该是属于摩托罗拉MPX系列硅压力传感器之一,它的工作原理属于利用单晶硅的压阻效应,其结构是在单晶硅片中央蚀刻正方形的膜片,在膜片上形成一个X型的硅电阻,当对X型的硅电阻的电源对端施加一个适当电压,在X型的硅电阻的输出对端就会产生一个输出信号,该信号会随施加到正方形膜片上的压强的大小而呈线性变化。该压力传感器的特点是成本低、有灵敏度高、线性度好、临时重复性好的特点。 。
单晶硅压力变送器跟普通的压力变送器有什么区别
单晶硅压力变送器与普通的压力变送器主要的区别是在传感器方面,采用了更加高精度,高稳定性的单晶硅材料作为感应器材料,能够更加准确的感知变化的压力信号传统的压力变送器通常采用铁磁材料作为感应器材料,其精度和稳定性相对较低,且容易受到外界的影响,而单晶硅压力变送器在材料选择更为优秀的基础上,在制备、加工和封装上也精益求精,以确保整个系统更加稳定、精确此外,单晶硅压力变送器还具有响应时间快、线性度高、灵敏度高以及温度变化对性能的影响较小等优点,适用范围也更加广泛和远大
FPGA压力传感器的工作原理
压力传感器工作原理1、应变片压力传感器原理力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。
电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。一般这种应变片都组成应变电桥,并通过后续的仪表放大器进行放大,再传输给处理电路(通常是A/D转换和CPU)显示或执行机构。2、陶瓷压力传感器原理陶瓷压力传感器压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的电压信号。3、扩散硅压力传感器原理工作原理:被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。4、蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有良好的计量特性。5、压电压力传感器原理压电传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英(二氧化硅)是一种天然晶体,压电效应就是在这种晶体中发现的,在一定的温度范围之内,压电性质一直存在,但温度超过这个范围之后,压电性质完全消失(这个高温就是所谓的“居里点”)。由于随着应力的变化电场变化微小(也就说压电系数比较低),所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。
压阻式压力传感器的最早发明者
1954年C.S.史密斯详细研究了硅的压阻效应,从此开始用硅制造压力传感器。早期的硅压力传感器是半导体应变计式的。
压力传感器工作原理是什么
压阻式压力传感器,顾名思义就是利用了压阻原理来实现压力监测的传感器。目前主要是MEMS技术来实现。
单晶硅具有良好的压阻效应,因此目前的压阻式压力传感器是主要都是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用MEMS工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生于被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
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